சோழ மன்னன் தருமபாலனால் உருவாக்கப்பட்ட இந்த ஆலயம் 368 அடி நீளமும் 502 அடி அகலமும் கொண்டதாகும். முற்றிலும் கருங்கற்களினால் , சிற்ப வேலைப்பாடுகளைக் கொண்டு அற்புதமாக அமைக்கப்பட்டுள்ள இவ்வாலயத்தின் தென் கோபுரத்தின் உயரம் 97 அடியாகும், ராஜகோபுரத்தின் உயரம் 67 அடியாகும். கோவிலின் விஸ்தீரணம் மட்டும் 4.32 ஏக்கர்; திருக்குளத்தின் விஸ்தீரணம் 1.8 ஏக்கர் பரப்பளவு கொண்டதாகும். இவ்வளவு பெரிய ஆலயம் புதுவை மாநிலத்தில் வேறு எங்கும் இல்லை என்பது கண்கூடு.

இக்கோயில் முழுவதும் எண்ணற்ற அரிய கல்வெட்டுக்களும் அழகிய வியப்பளிக்கும் சிற்பங்களும் உள்ளன. புற்றுக்குப் பால் சொரியும் பசு, எருதும் யானையும் கலந்த தலைச்சிற்பம், பிரசவ நிகழ்வு, நாயக்க மன்னர் அரசியோடு உள்ள காட்சி, இருதலைப்பறவை போன்ற சிற்பங்கள் யாவும் கருங்கற்களில் அழகாகச் செதுக்கப்பட்டு உள்ளன.

கோவில் பரப்பளவு

மிகப்பெரிய இடப்பரப்பளவு கொண்ட இத்திருக்கோயில் 3காணி 60 குழி யாகும். நீளம் 368அடி, அகலம் 502 அடி கொண்டது.

கோபுரம்

இத்திரு ஆலயத்தின் தெற்கு இராச கோபுரத்தைப் பிரெஞ்சுக்காரர்கள் கண்காணிப்பு நிலையமாகப் பயன் படுத்தி உள்ளனர். வில்லியனூரின் தென் மேற்கில் பிரெஞ்சுக்காரர்களின் கோட்டை இருந்துள்ளது இக்காலத்தில் அது அழிந்து விட்டிருந்தாலும் அப்பகுதி இன்றும் கோட்டை மேடு என வழங்கப்படுகிறது.

இங்கு இரண்டு பெரிய கோபுரங்கள் உள்ளன. அவை ராஜ கோபுரம் 67 அடி உயரம் கொண்டு உள்ளது. இக் கோபுரம் கிழக்கு நோக்கி அமைந்துள்ளது. மற்றொரு பெரிய கோபுரம் தென் திசையில் உள்ளது. அக்கோபுரத்தின் உயரம் 97 அடியாக உள்ளது.

தலப்பெயர்கள்

இத்தலத்திற்குக் ‘காமீசம்’, ‘வில்வபுரி’ ,’வில்வமாநகரம்’ என்றெல்லாம் பெயர் உண்டு என்று வில்லைப்புராணத்தில் காணப்படுகிறது.

திருக்குளம்

இத்திருத்தலத்தில் உள்ள திருக்குளமானது. பிணி தீர்க்க வல்லது, இவற்றின் பரப்பளவு 1.8 ஏக்கர் கொண்டதாகும்.

தீர்த்தம்  - பெண்ணை, புஷ்டிமதி, வேகவதி,பம்மை, முத்தாறு

தலதீர்த்தம்: இருத்தாபநாசனி(பிரம்மத்தீர்த்தம்)

தலவிருட்சம்

வில்வநல்லூர் என்பது தொண்டை நாட்டைச் சார்ந்தது. இங்கே முத்தாறு என்னும் நதிக்கரையில் பிரம்மதேவர் ஒரு வில்வவனத்தை உண்டாக்கி அங்கே சிவலிங்கத்தைப் பிரதிஷ்டை செய்தமையால் இதற்கு முதலில் வில்வவனம் என்ற திருநாமம் உண்டாயிற்று. அதன் பிறகு சோழமன்னன் தருமபாலன் என்பவனால் இந்த ஆலயமும், நகரமும் நிர்மாணம் செய்யப்பட்டு வில்வநல்லூர் என்னும் பெயர் உண்டாயிற்று. இது தேவாரத்தில் வரும் வில்லேச்சுரமென்னும் வைப்புத்தலமாகும். இத்திருத்தலத்தின் தலவிருட்சம் வில்வம் ஆகும். ஆகையால் தான் இத்தல இறைவனை வில்வனேசன் என்று அழைக்கப்படுகின்றது. வில்வம் நிறைய சூழப்பெற்ற இடமாக உள்ளமையால் அவ்வாறு அழைக்கப்படுகின்றது.

பரிவார கடவுள்கள்

இத்திருத்தலத்தில் இறைவன் காமீஸ்வரராகவும் , இறைவி (குயிலம்மை) கோகிலாம்பாளாகவும் வீற்றிருக்க இதர பரிவார தெய்வங்களாக விநாயகர்  வலம்புரி விநாயகராகவும், முருகர் முத்துகுமாரசுவாமியாகவும், துர்க்கா, பைரவர், நவக்கிரக சன்னிதி, சூரியர் , சந்திரர் மற்றும் 63 நாயன்மார்கள் மூல சிலைகளுடன் பஞ்சலோக உற்சவ நாயன்மார்களும் உள்ளனர்.